1. 盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见根据《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基于独立判断原则，对公司第一届董事会第十九次会议审议的各项议案所涉事项进行了审核。
2. 我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如下独立意见：一、关于《关于公司2022年半年度募集资金存放与使用情况专项报告的议案》的独立意见我们认为，公司2022年半年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律法规、规范性文件的相关规定，符合公司《募集资金管理制度》的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情况。
3. 我们同意董事会审议通过相关议案。
4. 二、关于《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》的独立意见我们认为，本次使用部分超募资金投资建设新项目的事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律、法规以及规范性文件和《公司章程》《募集资金管理制度》等的规定。
5. 本次事项已经通过董事会审议，议案内容及表决情况符合相关规定，履行了必要的程序。
6. 本事项符合公司主营业务发展方向，符合公司募集资金使用计划，有利于公司长远发展、提高募集资金的使用效率，不存在损害公司及中小股东利益的情形。
7. 公司本次超募资金的使用与募集资金投资项目的实施不相抵触，不存在变相改变募集资金投向的情形。
8. 我们同意董事会审议通过相关议案后将其提交公司股东大会审议。
9. 张苏彤 独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见 独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见1 独立董事签字页 张苏彤签字页 独董意见。
